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半导体生产设备

发布日期：2014-11-14

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大口径化、细微化发展的半导体生产进程中，通过高性能伺服与高分辨率编码器，实现驱动部分的高速、高精确度定位、速度稳定性，从而实现高品质化生产与高生产性。

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